扫描电镜(SEM)需要的真空度通常是非常高的,主要原因和所需达到的真空度如下。
1、主要原因:
防止电子泄露在SEM中,电子枪发射出的电子需要加速并聚焦到样品上,如果环境中存在气体分子,这些电子可能会与气体分子发生碰撞并改变方向,从而影响成像质量,维持高真空度可以减少电子泄露,保证成像的清晰度和准确性。
避免样品蒸发在高真空环境下,样品的蒸发和分解速率会大大降低,保护样品不受污染或损坏。
提高分辨率真空环境有助于SEM实现更高的分辨率和更清晰的图像。
2、所需的真空度:
高真空通常在10^-3至10^-6帕之间,这是为了最小化气体分子对电子束的干扰,并优化成像效果。
超高真空在一些高端的SEM中,可能需要达到更高的真空度,如低于10^-8帕,以确保最佳的图像质量和样品保护。
维持扫描电镜真空的主要原因是为了确保电子束在样品上的有效传输、获得高质量的图像、保护样品免受损坏或污染,并延长电镜的使用寿命,如果真空度下降,可能会导致图像质量下降、样品受损等问题。
仅供参考,如需更准确的信息,建议咨询扫描电镜操作专业人员或查阅相关书籍文献。